⚙️投资优先级 🔴极度优先（政策最强、设备类公司PE高、业绩弹性大）BOYU Investment Research
半导体设备行业（除光刻机）
半导体专题 · 半导体专题（八）
半导体设备行业（除光刻机）
💾 半导体专题半导体专题（八） · Semiconductor Equipment (Excluding Lithography)
国产替代加速期，刻蚀/清洗/CMP率先突破
全球设备市场
约1000亿美元
2023年
刻蚀设备市场
约180亿美元
全球最大细分
中国国产化率
约10-20%（整体）
整体水平
Top3厂商份额
~70%
LAM/TEL/AMAT
核心投资论点
半导体设备（除光刻机）全球约1000亿美元市场。美日欧厂商垄断（LAM/TEL/AMAT占全球约70%），国产化率整体约10-20%。刻蚀机（北方华创/中微公司）和清洗设备（盛美上海）在28nm有突破，CMP（华海清科）、PECVD（拓荆科技）也有进展。检测设备（睿励/中科飞测）仍薄弱。美国芯片管制加速国产替代，北方华创是平台型龙头
最后更新
2026-04-22
📊
半导体设备投资价值-壁垒四象限
横轴=设备价值占比，纵轴=技术壁垒🔴 A极度优先
高价值 + 极高壁垒
刻蚀设备
20%设备价值自给~20%
LAM/TEL/AMAT垄断，中微已突破CCP 7-14nm
沉积设备
15%设备价值自给~10%
AMAT/LAM/TEL垄断，PVD北方华创有突破
检测设备
10%设备价值自给<5%
KLA垄断50%，国产睿励/中科飞测<5%
🟠 B高度优先
中高价值 + 高壁垒
清洗设备
5%设备价值自给~30%
盛美上海单片清洗突破10%份额
CMP设备
5%设备价值自给~12%
华海清科12寸CMP，鼎龙抛光垫
🟡 C中度优先
中等价值 + 中壁垒
封装设备
10%设备价值自给~15%
Disco切割/ASM贴片，国产华封科技
离子注入
5%设备价值自给~3%
AMAT/Axcelis垄断，凯世通在研